关于台式扫描电镜如何选择合适的加速电压值的建议

更新时间：2022-05-20

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　　台式扫描电镜速度快，信号采集带宽10M，可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，不需对中光阑等复杂步骤，聚焦消像散后可直接拍图。主机集成高压及控制系统，体积小巧，便于移动，可出差携带，安装无需特殊环境，只需找一张桌子，供电就可工作。

台式扫描电镜

　　那么在实际工作中要采集到一幅好照片，除了要有好的台式扫描电镜设备之外，选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点，通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑，即金属试样一般会选择较高的加速电压，轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。

　　（1）选择低加速电压的优点

　　台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面，图像的表面细节就越显得丰富、细腻，特别是会明显减少边缘效应，使得到的图像显得更协调、柔和。另外，低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小，不容易造成试样的荷电和图像的漂移，也会减轻对试样的损伤。

　　（2）选择低加速电压的缺点

　　加速电压越低，电子束的波长越长，越不容易得到高分辨力的图像，所以低加速电压仅适合于拍摄放大倍率不太高的图像，还有信噪也比较差，抗外部电磁场的干扰能力也较弱，对试样表层所受的污染会变得更敏感，所以不易得到高清晰和高分辨力的图像。

　　（3）选择高加速电压的优点

　　加速电压越高入射电子束的波长越短，也就越容易得到高分辨力的图像，还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强，也不易受到试样表层污染斑的影响，所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。

　　（4）选择高加速电压的缺点

　　所获得的图像会缺少表面信息和细节，易呈现高反差，特别是会明显增大边缘效应，使得到的图像欠柔和，也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外，高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤，以及图形的漂移。

　　以上就是关于如何选择合适的加速电压值的一些建议。