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光栅尺
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超高真空微型光栅尺SMG26特点,体积小,结构紧凑,适用于超高真空使用,良好的耐高温性,最高可达100℃,SMG26系列光栅的栅距为256μm,下表为不同细分倍数下的允许速度值,精度高,绝对精度3μm(20℃)
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