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更新时间:2026-10-23
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AI处理的复杂任务越来越多,芯片承受的考验也随之增加。
从生成一段文字、绘制一张图片,到训练大规模人工智能模型,背后都离不开大量计算。为了获得更高的计算能力,芯片中的晶体管不断增加,先进封装技术也在持续发展。与此同时,一个老问题变得更加突出:芯片的计算能力越强,散热反而越难。

这不是芯片变得 "不耐用",而是随着计算密度不断提高,电能如何转化为热量、热量如何从芯片内部传递出去,已经成为影响芯片性能和可靠性的重要因素。
而在这些宏观的散热问题背后,还藏着一个更微观的世界。

图 现代高性能AI芯片的2.5D/3D异构封装与高密度互连架构
芯片发热的根源在电流。芯片内部集成大量晶体管,它们通过改变自身的导通状态来处理和传递信息。晶体管在开关过程中会产生动态功耗,电流经过具有电阻的材料时会产生焦耳热,非理想状态下的漏电流同样带来功耗,这些能量最终大多以热的形式释放出来。

图 微观纳米级三维晶体管结构与电流导通生热机制
芯片的功耗与工作频率、电压、晶体管数量以及电路设计等因素有关。通常计算任务越繁重、同时工作的电路越多,芯片的发热压力就可能越大。不过功耗并不只由晶体管数量决定,制程、架构、工作负载和电源管理同样会影响最终结果。
对AI芯片而言,问题还在于计算规模和数据传输需求持续增长。大量计算单元需要协同工作,存储器与计算单元之间也需要频繁交换数据。为了提高整体性能,芯片设计不断向更高的集成度和更复杂的封装结构发展。
这意味着,热量可能集中在更小的区域内产生。

图 高算力Chiplet封装内的局部“热点"与三维温度梯度分布仿真
同样的热量,分散在一块较大的金属板上,比较容易传递到周围环境。集中在一小块区域里,就更容易形成局部高温。芯片也是如此,当局部热流密度升高,热量来不及及时传导出去,就可能出现热点。
温度过高时,芯片可能需要降低工作频率或功耗以控制温度。长期处于不合适的热环境中,还可能加速某些材料和互连结构的老化,影响器件的稳定性与使用寿命。
因此芯片性能的提升,不只是让它 "算得更快",还要让它在高负载下能够持续、稳定地工作。
有人会以为,给芯片装上更强的散热器就能解决问题。但散热系统只是整个热传递链条中的一环。芯片产生的热量,需要经过芯片内部结构、封装材料、界面层以及散热部件,最终传递到周围环境。任何一个环节的热阻过大,都可能限制整体散热效率。

图 芯片封装到散热环境的全链条热阻网络模型
这里有一个容易被忽略的因素——材料之间的接触界面。
芯片并不是一整块均匀的材料,而是由不同材料和多层结构组合而成。硅、金属互连材料、介电材料、封装基板以及导热界面材料,各自承担着不同的功能。热量从一种材料进入另一种材料时,会受到两侧材料的热学性质、界面状态以及接触情况等因素影响。
如果界面接触不充分,存在微小空隙,实际参与热传递的接触区域就可能减少。某些界面还可能因为材料性质差异、结构不连续等因素,形成额外的热阻。

图 固体接触界面微观粗糙峰、微孔隙陷气与接触面温度骤降机理
这就像两块看似贴合的物体,表面其实存在许多肉眼看不见的间隙。宏观上看它们已经紧密接触,到了微观尺度,真实的接触状态却可能复杂得多。
界面存在空隙,并不意味着芯片一定会出现严重的散热问题。缺陷的尺寸、位置、分布,以及材料本身的导热性能和整体结构,都会影响最终结果。要判断它是否构成实际风险,还需要结合热学测试和其他分析手段。
但有一点可以确定:当芯片的结构越来越复杂,单靠外观检查,很难了解内部每一层材料的真实状态。
要研究这些微观结构,就需要借助显微表征手段。光学显微镜能观察许多常见的表面特征,但当研究对象缩小到微米甚至更细的尺度时,扫描电子显微镜就有了用武之地。
扫描电镜利用聚焦电子束逐点扫描样品表面,通过收集电子与样品相互作用产生的信号,形成反映样品形貌等信息的图像。与普通光学显微镜相比,它能在许多材料研究场景中提供更丰富的微观形貌细节,帮助研究人员观察表面形貌、断面结构以及不同区域之间的差异。

图 先进3D封装硅通孔截面工艺架构与微观介质层排布
以芯片及封装材料为例,研究人员可以对经过适当制备的样品进行截面观察,分析多层结构的形貌、不同材料之间的界面,以及局部是否存在孔隙、裂纹、分层等可观察到的缺陷。
这些细节之所以重要,是因为材料的宏观性能往往与微观结构密切相关。一个界面是否连续、某个区域是否存在孔洞、裂纹沿什么方向扩展,都可能为理解材料的连接质量、结构完整性和失效机制提供线索。

图 使用泽攸科技ZEM系列台式扫描电镜对芯片截面和表面进行的表征
泽攸科技专注于精密仪器研发,其ZEM系列扫描电子显微镜可用于材料表面、断面及微观结构的观察,为芯片相关材料和封装结构的分析提供表征手段。对于需要研究微小缺陷、界面形貌和材料组织的工作来说,获得清晰、可靠的微观图像,是进一步开展分析的重要基础。

图 泽攸科技ZEM系列扫描电镜
除了芯片内部结构,承担支撑、绝缘或热传导功能的材料,同样值得关注。氮化铝陶瓷兼具较高的热导率和良好的电绝缘性能,因此在功率电子器件、电子封装和热管理等领域具有应用价值。
对电子器件来说,导热和绝缘往往需要同时满足。金属材料虽然通常具有较好的导热能力,但不一定适合所有需要电绝缘的结构。部分陶瓷材料绝缘性能良好,导热能力却相对有限。氮化铝陶瓷的特点,正是能够兼顾这两方面的需求。

图 使用泽攸科技ZEM系列台式扫描电镜对氮化铝进行的表征
不过材料的性能并不只取决于材料种类,还与其内部微观结构和制备工艺密切相关。氮化铝陶瓷的导热能力会受到材料纯度、杂质、晶粒与晶界状态、孔隙率等因素影响。即使采用相同的材料体系,不同制备工艺得到的样品,其微观结构和最终性能也可能存在差异。
通过扫描电镜观察陶瓷的断面和微观形貌,研究人员可以分析晶粒形态、孔隙分布及断裂特征等信息,为理解材料的组织状态提供依据。如果需要进一步研究元素组成,还可以根据设备配置和实验需求,结合能谱等分析手段开展检测。
从芯片封装材料到氮化铝陶瓷,研究对象虽然不同,背后的思路却是一致的:先通过合适的表征手段了解材料结构,再结合性能测试,分析影响性能的关键因素。

图 面向AI高热流密度Chiplet封装的微通道近芯片直接液体冷却架构
随着AI计算需求增长,芯片的散热问题正在变得更加复杂。更高的集成度、更高的局部功耗,以及越来越复杂的封装结构,让芯片设计需要同时考虑计算性能、供电、热传导、材料可靠性和制造工艺。散热能力不再只是散热器的任务,而是贯穿芯片设计、封装制造和材料研发的系统问题。
AI芯片的竞争,表面上是算力的竞争,背后也是材料、结构、工艺与热管理能力的综合较量。当越来越多的功能被集成进更小的空间,许多决定器件可靠性的细节,也就藏在了肉眼看不见的微观世界里。
参考资料(文中部分示意图根据参考文献改绘、汉化整理)
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