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sem扫描电镜在历史长河中经历过怎样的迭代更新?

发布时间:2022-09-13    浏览量:61
  经历过长达几十年迭代更新,才有如今的扫描电镜,下面就为您简单介绍电子显微镜的发展史。
 
  电镜的发展历史要从1924年波粒二相性理论的提出开始介绍。
  1924年法国物理学家德布罗意提出“物质波”假说,认为和光一样,一切物质都具有波粒二象性。 根据这一假说,电子也会具有干涉和衍射等波动现象,这被后来的电子衍射试验所证实。由此,物理学界也开始了拉开了利用电子成像的帷幕。

  1926年:磁透镜聚焦理论的提出
  德国学者H.Busch提出了运动电子在磁场中的运动理论。他指出:具有轴对称的磁场对电子束具有聚焦作用。这为电子显微镜的发明提供了重要的理论依据。

  1931年:首个电子图像的获得
  德国学者Knoll和Ruska获得了放大12倍铜网的电子图像。证明可用电子束和磁透镜进行成像。

  早期的透射电镜 大约1934年左右
 
  1931-1934年:首台透射电镜的诞生

  1939年研制成功世界上首台商品透射电镜,分辨率优于100埃;1954年进一步研制成功ElmiskopI型透射电镜,分辨率优于10埃。
 
  1939年:首台商品透射电镜的问世
  德国学者鲁斯卡等研制成功世界上首台透射电子显微镜,至1934年其分辨率达到了500埃。鲁斯卡因为在电镜光学基础研究及以上贡献获得了1986年诺贝尔物理奖。
 
  1935年:头次提出扫描电镜概念。
  在透射电镜的基础上,1935年德国学者诺尔头次提出了sem扫描电镜的概念,1952年剑桥大学Oatley等制作了出扫描电镜。
 
  1965年:首台商品扫描电镜诞生
 
  1965年剑桥大学推出首台商品扫描电镜。目前其发展方向是场发射型高分辨扫描电镜和环境扫描电镜。
 
  电子显微镜通常可分为扫描电子显微镜和透射电子显微镜两类,是材料微观分析的重要工具之一,被广泛应用于材料、化工、医学、生物等各个领域。

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