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关于扫描电子显微镜的组成结构

更新时间:2023-05-31    浏览量:671
扫描电子显微镜最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。

结构组成:

1.真空系统

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室,也就是放置样品的地方。

之所以采用真空,主要基于以下两个原因:

电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效,所以使用SEM时除了真空外,通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

为了增加电子的平均自由程,使更多的电子用于成像。

2. 电子束系统

电子束系统由电子枪和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束,用于扫描成像。

3.电子枪

电子枪是用来产生电子的,主要有两种,一共三种。

4.电磁透镜

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子枪的SEM来说是不可少的。通常组装两个组:

会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子枪下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。

物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。

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