SEM原位MEMS气氛台

PicoFemto扫描电镜SEM原位MEMS气氛台，将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电镜样品台上，在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且可以对实验样品原位加热。该系统允许研究者在气氛环境中原位、动态、高分辨地对样品的形貌结构和化学组分进行综合表征，大大拓展了扫描电镜的功能与应用领域。该产品可使研究者可以在扫描电镜中实时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长/合成以及各类腐蚀反应，将您的扫描电镜从一台静态成像工具升级为一套功能强大的纳米实验室。

• PicoFemto扫描电镜SEM原位MEMS气氛台扫描电镜指标：

▲ 兼容指定类型电镜

▲ 保证电镜原有的真空度

▲ MEMS反应微腔指标

▲ 超薄氮化硅膜窗口

▲ 样品漂移优于0.7 nm/min

• 热学指标：

▲ 温度范围：室温到800 °C 

▲ 温度稳定性：优于0.1 ℃

• 气体流动指标：

▲ 三通道混气

▲ 气压范围：0-1 bar

▲ 可通气体：H2、N2、02、He、CO、CO2、CxHy

▲ 气体流速：≥0.1 sccm

▲ 流速范围：1 sccm×3（N2）

▲ 控压范围：100 mbar-1000 bar 

▲ 软件控制