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台式扫描电镜在试样前要做哪些准备

发布时间:2022-04-13    浏览量:1138
   台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
 
  电子光学系统:电子光学系统由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。
 
  电子枪:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
 
  电磁透镜:其作用是把电子枪的束斑逐渐聚焦缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
 
  扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
 

台式扫描电镜

 

  台式扫描电镜的试样准备:
  在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,可以不做任何预处理,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,必须在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,常用的是金或碳。
 
  为了观察到复合材料界面区的二次电子像,必须应用某种方法将材料的界面区域暴露于试样表面。例如:
 
  将纤维增强复合材料中的纤维拉出,暴露出纤维表面和原先与纤维相结合的基体表面,这是受到或多或少损坏的界面。
 
  另一个常用的方法是对复合材料施力,使其沿设定的方向断裂。对脆性材料,可在常温下实施;而对韧性复合材料,可用冷冻断裂法,在液氮温度下将材料脆性断裂,暴露出包含基体、增强体和界面的区域。
 
  还有一种方法是将暴露了界面区的端面或断裂面,在超薄切片机上用金刚石刀或玻璃刀切平。
 
  亦或者磨平抛光,随后使用蚀刻法,使试样端面结构不同或成分不同的区域有着不同程度的蚀刻,形成形貌上的差异。

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