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ZEM15台式扫描电镜的四大功能一一介绍

发布时间:2022-06-06    浏览量:439
   ZEM15台式扫描电镜的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为泽攸科技自主研制。特别研制的电子光学系统设计,使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合*的信号采集带宽,可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统,是目前市面上体积较小的台式扫描电镜,便于移动,安装无需特殊环境。
 

ZEM15台式扫描电镜

 

  ZEM15台式扫描电镜的四大功能:
  1、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。

  2、在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:
  1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

  2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

  3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

  3、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定——-化学成分像分布,微区化学成分分析
  1)用x射线能谱仪或波谱采集特征X射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析,相鉴定。

  2)利用背散射电子基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,生成化学成分相的分布图像;

  3)利用阴极荧光,基于某些痕量元素受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。

  4)利用样品电流,基于平均原子序数反差,生成的化学成分相的分布图像,该图像与背散射电子图像亮暗相反。

  5)利用俄歇电子,对样品物质表层进行化学元素分布的定性定理分析。

  4、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)。

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