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台式扫描电镜的清洗频率和部位

更新时间:2023-07-26    浏览量:558
台式扫描电镜主要应用于对样品微区形貌,结构与组成进行观察与分析。 它以分辨率高,景深好和操作简单而被广泛应用于材料学,物理学,化学,生物学,考古学,地矿学和微电子工业。
1、清洗频率
清洗扫描电镜的频率取决于一系列因素及条件,其中包括:使用时间、样品种类、加速电压及电子束流等。
每次更换灯丝时,栅帽、栅帽光阑固定圈都要清洗,不必清洗阳极和阳极帽。当见到明显的污染及图象象散过大时,就应清洗物镜光阑柄并用酒精灯烧物镜光阑或换新光阑。如果上述部位都已被清洗过,还有明显的污染和象散迹象,则应拆下衬管进行清洗。-般油扩散泵真空系统,每三个月就要清洗- -次。 涡轮分子泵真空系统,正常使用,每年清洗-次。
2、清洗部位
需要强调指出的是物镜下极靴孔,如想清洗,须由有经验的厂家维修工程师来清洗,若损伤物镜的表面或边缘将严重影响扫描电镜的性能。在发现扫描电镜有信号减弱和象散增大的迹象后,就要判断污染所在的地方。这由扫描电镜的真空泵类型决定,- 般由“70/20/10”规则判断。

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