台式扫描电镜的清洗频率和部位

更新时间：2023-07-26

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台式扫描电镜主要应用于对样品微区形貌，结构与组成进行观察与分析。它以分辨率高，景深好和操作简单而被广泛应用于材料学，物理学，化学，生物学，考古学，地矿学和微电子工业。

1、清洗频率

清洗扫描电镜的频率取决于一系列因素及条件，其中包括:使用时间、样品种类、加速电压及电子束流等。

每次更换灯丝时，栅帽、栅帽光阑固定圈都要清洗，不必清洗阳极和阳极帽。当见到明显的污染及图象象散过大时，就应清洗物镜光阑柄并用酒精灯烧物镜光阑或换新光阑。如果上述部位都已被清洗过,还有明显的污染和象散迹象，则应拆下衬管进行清洗。-般油扩散泵真空系统，每三个月就要清洗- -次。涡轮分子泵真空系统，正常使用，每年清洗-次。

2、清洗部位

需要强调指出的是物镜下极靴孔，如想清洗，须由有经验的厂家维修工程师来清洗，若损伤物镜的表面或边缘将严重影响扫描电镜的性能。在发现扫描电镜有信号减弱和象散增大的迹象后,就要判断污染所在的地方。这由扫描电镜的真空泵类型决定，- 般由“70/20/10”规则判断。

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