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纳米探针台

【产品概述】PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米探针台实现了三维空间上的精确定位,具有小尺寸大行程、高定位精度、操作简单、能在真空下使用等优点,使用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作及物性测量。

  • 产品型号:NP-3
  • 更新时间:2022-08-08
  • 访  问  量:402
  • 厂商性质:生产厂家

产品详情

PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米探针 基于压电陶瓷驱动技术,运动无需润滑,兼容扫描电镜真空环境,并可在多种温度范围内工作;步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由XYZ三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。




技术指标(单个三轴探针台)


 

运动指标 尺寸参数
1. X轴移动行程:±10mm;

1. 长/宽/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm

2. Y轴移动行程:±10mm;
2. 重量:225g
3. Z轴移动行程:±10mm;

4. 运动速度:0-3mm/s;
5. 细调分辨率:0.5nm


产品选型


纳米探针台  

泽攸科技提供适配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多种扫描电子显微镜型号的纳米探针,支持定制。


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