半自动台阶仪

【产品概述】泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表，凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能，在半导体制造、材料科学、微纳技术等领域展现了显著优势。JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描，将微观轮廓的垂直位移转化为电信号，结合高灵敏度传感器与信号处理算法，实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统.

产品型号：JS100B
更新时间：2025-03-13
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厂商性质：生产厂家

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产品详情

泽攸科技台阶仪JS100B

产品介绍

泽攸科技半自动台阶仪JS100B是高精度测量设备，打破了国外技术垄断，适用于半导体制造中的国产化进程。该设备采用一体花岗岩结构，确保测量的稳定性与可靠性。配备两个彩色摄像头，可无畸变地观察样品和针尖，实现特征区域精确定位。JS100B具备厚度、粗糙度、翘曲度及薄膜应力测量功能，并支持3D扫描成像和多点扫描应用，广泛应用于刻蚀、沉积、薄膜等领域。

刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
各式薄膜应力测量
3D扫描成像
计划任务和多点扫描

应用领域

产品组成

突破三大核心技术

产品特色

关键技术指标

案例应用

18nm样品

68um样品

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