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全自动台阶仪

【产品概述】0.5nm重复精度台阶仪, 进口自动台阶仪替代, 批量晶圆测试设备, 透明晶圆测量方案
泽攸科技JS2000C全自动台阶仪——0.5nm超高精度晶圆量产检测系统。集成EFEM自动传输+双摄像头对位,支持8寸晶圆批量处理(≥10片/小时),±10um定位精度满足半导体在线检测需求,广泛适用于半导体、LED、太阳能、MEMS、触控屏、汽车与医疗设备等...

  • 产品型号:JS2000C/3000C
  • 更新时间:2025-10-11
  • 访  问  量:3259
  • 厂商性质:生产厂家

产品详情

泽攸科技台阶仪JS2000C/3000C

产品介绍


全自动台阶仪

泽攸科技全自动台阶仪JS2000C/3000C是一款高精度、高分辨率的测量设备,采用一体花岗岩结构,确保测量的稳定性与可靠性。配备双彩色摄像头,可清晰无畸变地观察样品和针尖,实现精准定位与实时监控。适用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翘曲度、应力及3D扫描成像等测量任务,并支持计划任务和多点扫描批量测试,广泛应用于半导体、材料科学等领域。其核心技术包括精密成像、自动控制和数据分析处理。


  • 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

  • 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

  • 各式薄膜等应力测量

  • 3D扫描成像

  • 计划任务和多点扫描

  • 批量测试晶圆,批量处理数据等




应用领域

全自动台阶仪

产品组成

全自动台阶仪


突破三大核心技术

全自动台阶仪


产品特色

全自动台阶仪


技术指标

台阶高度最大范围:160um

台阶高度重复性:≤0.5nm

垂直分辨率:0.05nm

探针加力范围:0.5mg~50mg

单次扫描长度:≤55mm

晶圆尺寸:可兼容6寸、8寸Wafer

晶圆厚度:≤50mm

图像识别系统精度:定位精度优于±10um

机械动作稳定性:马拉松传送测试>500片

生产效率:WPH≥10片(单面量测≥5个位置)



案例应用

18nm样品

68um样品




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