全自动台阶仪

泽攸科技台阶仪JS2000B

产品介绍

泽攸科技全自动台阶仪JS2000B是一款高精度、高分辨率的测量设备，采用一体花岗岩结构，确保测量的稳定性与可靠性。配备双彩色摄像头，可清晰无畸变地观察样品和针尖，实现精准定位与实时监控。适用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翘曲度、应力及3D扫描成像等测量任务，并支持计划任务和多点扫描批量测试，广泛应用于半导体、材料科学等领域。其核心技术包括精密成像、自动控制和数据分析处理。

• 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

• 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

• 各式薄膜等应力测量

• 3D扫描成像

• 计划任务和多点扫描

• 批量测试晶圆，批量处理数据等

应用领域

产品组成

突破三大核心技术

产品特色

技术指标

台阶高度最大范围：≤80um

台阶高度重复性：≤0.5nm

垂直分辨率：0.05nm

探针加力范围：0.5mg~50mg

单次扫描长度：≤55mm

晶圆尺寸：可兼容6寸、8寸Wafer

晶圆厚度：≤10mm

图像识别系统精度:定位精度优于±10um

机械动作稳定性:马拉松传送测试>500片

生产效率:WPH≥10片(单面量测≥5个位置)

案例应用

18nm样品

68um样品