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产品介绍| 品牌 | ZEPTOOLS/泽攸科技 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,公安/司法,制药/生物制药 |
泽攸科技台阶仪JS10C
产品介绍

泽攸科技手动台阶仪JS10C是一款高精度测量设备,采用一体式花岗岩结构设计,确保了测量的稳定性和可靠性。其配备彩色摄像头,能清晰地观察样品和针尖,方便定位并实时监控扫描区域。JS10B的最大扫描长度为55mm,重复性测量偏差不超过0.5nm,适用于晶圆尺寸≤150mm的样品。此外,它还具备台阶、粗糙度、平整度和翘曲度等多种测量功能,广泛应用于半导体、微电子等领域。
应用领域

产品组成

突破三大核心技术

产品特色

JS10C台阶仪部分技术指标
名称 | 详细参数 |
| 样品尺寸 | 6寸 |
| 最大扫描长度 | 55mm |
| 重复性测量偏差 | ≤0.5nm(1o lum标准块重复扫描30次) |
| 探针加力范围 | 0.5-50mg |
| 垂直分辨率 | 0.05nm满量程 |
| 扫描分辨率 | 10nm |
| 扫描速度 | 5μm/s-1000μm/s |
| 扫描最大采集点数 | 200万点 |
| 软件功能 | 台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量 |
案例应用

18nm样品

68um样品
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