干式液氦温区探针台

泽攸科技干式液氦温区探针台LHe-6H-06

产品介绍

干式液氦温区探针台LHe-6H-06是泽攸科技自主研发的探针台系统产品之一，LHe-6H-06专为样品的非破坏检测和真空洁净而设计的，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。利用住友F-50连续流型、变温制冷系统，低温可达6k，同时配备自动温度控制器（稳定度为0.05 K)，带有触控界面和LabView驱动，工作温度范围在6 K to 400 K 。另加防辐射窗口可截断样品更大的热辐射，可测量更大的尺寸样品。

产品优势

1.真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）；

2. 探针控制：标配6个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；

3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带干式液氦温区探针台LHe-6H-06是泽攸科技自主研发的探针台系统产品之一，LHe-6H-06专为样品的非破坏检测和真空洁净而设计的，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。利用住友F-50连续流型、变温制冷系统，低温可达6k，同时配备自动温度控制器（稳定度为0.05 K)，带有触控界面和LabView驱动，工作温度范围在6 K to 400 K 。另加防辐射窗口可截断样品更大的热辐射，可测量更大的尺寸样品。机械调焦和光学调焦；

4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：30K~400K。控温稳定性优于±0.01K；

5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；

6. 系统直流漏电低于1pA；

7. 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。

产品参数

系统功率：2.5KW

重量：200kg

探针轴行程：110mm

探针台行程：110mm*50mm*30mm

制冷方式：干式液氦制冷

探针臂数量：6

探针频率：26GHZ-100GHZ（可选）