低温液氮探针台

泽攸科技低温液氮探针台 LN-4H-06

产品介绍

低温低温液氮探针台 LN-4H-06是泽攸科技研发的探针台系统产品之一，该设备主要使用于样品的非破坏性快速检测，常应用在半导体、微电子、电子、机电、物理、化学、材料、光电、纳米、微机电等领域。

应用领域

产品特征

1.真空腔体：真空度优于6×10-3Pa。降温后优于6×10-4Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；

2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；

3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.58X~7X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约280倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.5K；

5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；

6. 系统直流漏电低于1pA。

7. 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。

应用案例

1、室温真空或者大气环境下器件电性能测量

例：单层二硫化钨场效应晶体管的IV曲线和转移曲线

2、变温IV性能测量

例：二硫化钨/硅范德瓦尔斯异质结的变温输运研究

产品参数

X-Y轴行程定位精度：±0.01mm

探针调节精度：±0.01mm

测试直径：6/8/12直径

探针轴行程：110mm

探针XY行程：50mm

制冷方式：液氮制冷

腔体直径：245mm

温度下线：77K

显微镜倍率：0.58X-7X（使用1X附加物镜时）

探针频率：26GHz-100GHz（可选）