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产品介绍| 品牌 | ZEPTOOLS/泽攸科技 |
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泽攸科技PicoFemto NI-100 扫描电镜SEM纳米力学台是研究材料变形行为和微观失效机制的重要工具，能够精确量化微纳米级材料的力学行为，并结合扫描电镜原位观测。纳米力学样品台可以选配多种加载模块：拉伸、压缩、压痕等。
• SEM纳米力学台特色
▲ 易用性强
▲ 兼容扩展性强
▲ 加热，光学等多种模块可选
▲ 闭环高精度、大量程力学测量
▲ 闭环纳米尺度微动台控制，位移更加精确
▲ 压痕、划痕、压缩等多种模式可选
▲ 超高稳定性，轻松获得高质量原位视频
• 应用案例
纳米力台拉伸过程（左） 纳米力台压缩过程（右）
纳米力台微球压碎过程
• 技术参数
名称 | 参数 | |
功能 | 压痕，压缩，拉伸 | |
载荷量程 | 100mN | |
力传感分辨率 | 10uN | |
响应时间 | 50ms | |
微调台X/Y | 模式 | 闭环控制 |
行程 | 100(±20)um | |
精度 | 20nm | |
粗调台X/Y/Z | 模式 | 开环控制 |
行程 | XY轴±10mm、Z轴行程10mm | |
最小步长 | ≤1nm | |
标准纳米力台尺寸 | 130*65*55mm | |
裸台重量 | 约300g(压痕) | |
样品尺寸 | ≤30*30mm | |
选配模块 | 加热(最高400℃)、加电 | |
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