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产品介绍| 品牌 | ZEPTOOLS/泽攸科技 |
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泽攸科技SEM纳米探针台实现了三维空间上的精确定位，具有小尺寸大行程、高精度及易操作等优点，同时兼容高真空是扫描电镜重要的原位功能附件。根据不同实验需求，可将电学探针替换为光纤探针、纳米镊子、显微注射器等各类操纵选件和测量头。
• SEM纳米探针台介绍
三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。
标准配置包含：探针主体、适配SEM/FIB的底座、过真空法兰、探针控制器及控制手柄
选配：低温、高温样品台、光纤夹头和光纤真空馈通、EBIC套件
• 产品特点
▲ 结构紧凑，高刚性
▲ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
▲ 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命
▲ 内部根据需求可增加位置反馈
▲ 应用：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等
▲ 适配SEM：日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等
• 主要参数
三轴探针台尺寸参数 | |
单个探针外形尺寸(长*宽*高) | 48.6mm*33.2mm*43.6mm |
样品台面平面度 | 10µm |
探针台总重量 | 225g |
三轴探针台运动参数 | |
三轴XYZ行程 | ±10mm |
最大运动速度 | 3mm/s |
细调分辨率 | 0.5nm |
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