SEM纳米探针台

泽攸科技SEM纳米探针台实现了三维空间上的精确定位，具有小尺寸大行程、高精度及易操作等优点，同时兼容高真空是扫描电镜重要的原位功能附件。根据不同实验需求，可将电学探针替换为光纤探针、纳米镊子、显微注射器等各类操纵选件和测量头。

• SEM纳米探针台介绍

三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。

标准配置包含：探针主体、适配SEM/FIB的底座、过真空法兰、探针控制器及控制手柄

选配：低温、高温样品台、光纤夹头和光纤真空馈通、EBIC套件

• 产品特点

▲ 结构紧凑，高刚性

▲ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 

▲ 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命

▲ 内部根据需求可增加位置反馈 

▲ 应用：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等

▲ 适配SEM：日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等

• 主要参数

• 应用案例