线性压电纳米位移台

线性压电纳米位移台MF40-25A，紧凑结构支撑下的超大行程，软件简单易用，亚纳米级别开环分变率，真空兼容可达10-5Pa。支持定制纳米位移台。

不同于传统的微米级别行程，纳米位移台拥有超大运动行程。大运动行程可以替代传统的大范围运动加不范围补偿的运动方案，从而使设计 结构更加紧凑，运动控制更加简单。

纳米位移台配套操作简单，随时调整XY轴观测位置，电子屏显示，实时反馈数据，数据定位准确，且带有高精度及高分变率的位置反馈。

• 线性压电纳米位移台MF40-25A优势

△ 结构紧凑，高刚性

△ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

△ 室温到液氦工作温度，超高真空兼容

△ 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命

△ 带位移传感器，提供位置和速度闭环控制

• 产品应用

电子显微镜原位纳米探针台，半导体芯片检测，光刻机工件台，微生物操纵手，光纤焊接，超精密组装，精密检测与测量。