ZP3-4微纳探针台可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表征。

• ZP3-4 微纳探针台参数

△ 探针数量：4个探头，每个探头配备一个三轴探针臂;自由度：每个探头独立驱动（X、Y、Z三自由度）;

△ 运动：压电驱动；

△ 步进速度：2 mm/s（X，Y，Z）；

△ 运动范围：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；

△ 运动分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；

△ 探针规格：针柄直径为0.51mm（0.020’’）;

• 产品优势

△ 快速、准确、稳定

ZP3-4微纳 探针台包含4个压电三轴探针臂，每个三轴配备1个可拆卸式电学探针接口，可在毫米级尺度上进行宏观运动并实现纳米尺度上的微观运动。

△ 使用场景多样化

ZP3-4微纳 探针台结构紧凑，占用空间小，运动行程大，可匹配各种显微镜样品台，真空室，光学试验台等工作条件。

△ 完善的技术解决方案

ZP3-4微纳 探针台与尼康金相显微镜/SR-Scopel集成形成的探针台电学测量系统，为宏观行程上进行的微观尺度电学及表征测量提供了具体的解决方案。

△ 直观、方便

ZP3-4微纳 探针台通过手柄控制，具有多级宏观调速，脉冲运动，以及位移微调功能，宏观运动速度跨度在5um/s~2mm/s，单点脉冲步进可达300nm以下，微调运动分辨率小于1nm，在显微镜下操作更直观，方便，准确。

△ 高度集成

ZP3-4微纳 探针台电学测量系统，配备完善的光学显微镜模块，配备亮度调节，增益和变焦等功能，与电脑连接后，可实现图像快照，尺寸测量和标注，视频记录等常规功能。