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扫描电镜日常维护要注意哪些细节

发布时间:2022-06-14    浏览量:487
  扫描电镜一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。
 
  扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要 的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物 理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。
 
  扫描电镜的日常维护
 
  1.保持仪器操作台面整洁,不允许身体倚靠,冻水机等装置不可放置重物
 
  2.开机时一定要先开水冷系统,并要检查冷却水的温度,关机至少15分钟后才能关闭冷却水
 
  3.进样品时,检查Z轴和T轴的位置.缓缓关闭样品室,确保进样仓门彻底关闭,才可点击EVAC按钮抽气
 
  4.移动样品,通过配合移动Stage Driver 将载物台向X轴和Y轴方向移动,从而移动样品,并保证小于最大允许值
 
  5.倾斜样品,-10°~+45°,要十分当心,不要撞坏探头。要根据样品台和样品状况选择倾斜角度,注样品可倾斜的最大安全角度必须小于允许值,防止样品撞伤物镜极靴
 
  6.用BSE探头时不可倾斜样品台
 
  7.样品只有在加速电压关闭的情况下才可取出,不作样品扫描时要关闭高压
 
  8.放气时HT必须处于关闭状态,必须等待120秒后才可轻轻拉开样品交换仓的门
 
  9.更换钨灯丝时, 等待两分钟时间,然后打开电子枪,用专门的器具取出钨灯丝连同钨灯丝罩,以免被烫伤
 
  10.电镜需要手动调节的部分主要有光阑,象散,工作距离调节的旋钮等,其他部件不允许调整
 
  11.每周加两到三次液氮,两次间隔不超过四天。

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