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为提高扫描电镜图像的分辨力可以采用这几种途径和方式

发布时间:2022-07-26    浏览量:193
    为提高扫描电镜图像的分辨力,常采用的途径和方式有下列几种。
  (1)在物镜的极靴附近加设一个特殊的附加静电装置(ElectrostaticsServes),用来同时汇集一次电子并提取二次电子,再加上物镜顶部环形探测器接收的面积大,灵敏度高,在短工作距离下能明显改善图像的信噪比和提高分辨力。
 

台式扫描电镜

 

  (2)采用透镜内(In-lens)探测器或安装在物镜上方的探测器(TLD-SED),都能明显改善低加速电压和短工作距离时的图像信噪比和分辨力。在WD较小时,不仅可以减小物镜球差和消除传统E-T探测器前端栅网上加速电位带来的影响,而且它接收到的几乎都是在入射束照射下直接产生的二次电子,排除了背散射电子等其他信号所产生的次生或间接的二次电子,因而有助于提高图像分辨力。
 
  (3)利用高亮度的场发射电子枪来作电子源的阴极以提高束流密度,从而提高亮度。
 
  (4)缩短工作距离,既可以相对增大信号量、提高信噪比,又可以减小像差,也就是把试样尽量移近物镜极靴,这类似于光学显微镜中的短焦距“浸没透镜”方式。物镜的极靴区是获得高分辨图像的有效部位但由于该处的空间很小,一般只有毫米级的试样才能进得去,而且试样的移动范围很小,操作起来要格外小心,否则容易“四处碰壁”。这种模式由于焦距短,束斑受外界的影响小,像差也小,且能进入到该区域的试样座也要小,小样品台的稳定性相对会比较好,所以在该区域拍摄的照片,其图像分辨力能得到明显提高。
 
  (5)使用强磁透镜,这是在透射电镜中装上附加的扫描附件,使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像,即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像,而且这种二次电子像的分辨力往往优于同类电子枪的专业扫描电镜。

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