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来了解下sem电子扫描电镜的各组成部件特点

发布时间:2022-08-02    浏览量:103
   sem电子扫描电镜具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等特点,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。从结构上看,主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。
 

sem电子扫描电镜

 

  下面来了解下sem电子扫描电镜的各组成部件特点
  1、信号探测处理和显示系统
  电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
 
  2、电磁透镜
  热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的电镜上,电磁透镜不可少。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。
 
  3、电子光学系统
  该系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。

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