台式扫描电镜喷金是为了什么？

更新时间：2022-08-08

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　　台式扫描电镜喷金是为了什么？我们知道扫描电子显微镜（SEM）的样品处理的要求中有一个是，样品表面一定要导电。

　　在大多数情况下，初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和，因此多余的电子须导入地下，即样品表面电位须保持在0电位。如果样品表面不导电，或者样品接地线断裂，那么样品表面静电荷存在，使得表面负电势不断增加，出现充电效应，使图像畸变，入射电子束减速，此时样品如同一个电子平面镜。

　　非导电样品绝缘电阻大，在电子束扫描下，样品表面逐渐积累负电荷，排斥入射电子，二次电子发射不稳定，并随机偏转二次电子，造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹，也就是所谓的“荷电效应”。

样品未喷金ZEM15台式扫描电镜成像

样品喷金后ZEM15台式扫描电镜成像

　　通常在样品表面镀一层导电膜可以提高样品的导电性，表面的负电荷通过导电膜释放入地，消除荷电。电荷释放的前提是膜层要与金属样品台相连接，形成导电通道，此外连续的导电膜也可以提高样品的导热性，减小热损伤。目前常用的镀膜技术为真空蒸发和离子溅射。

　　常用的镀膜材料有C、Al、Cr、Au、Pt、Au-Pd合金。金膜二次电子产率高、覆盖性好、镀膜容易，是常用的材料，但颗粒较大，适用于中低范围的分辨率、两万倍以下的图像。Pt和Au-Pd合金膜的颗粒要细得多，适用于高分辨率图像。使用场发射电镜对膜层要求更高，至少要在20万倍下膜层不能显现结构，高真空镀Cr可以满足要求。C膜均匀性好，导电导热效率高，又是比较经济的材料，只是二次电子产率低，不适合高倍图像。

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