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台式扫描电镜喷金是为了什么?

发布时间:2022-08-08    浏览量:75
   台式扫描电镜喷金是为了什么?我们知道扫描电子显微镜(SEM)的样品处理的要求中有一个是,样品表面一定要导电。
 
  在大多数情况下,初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和,因此多余的电子须导入地下,即样品表面电位须保持在0电位。如果样品表面不导电,或者样品接地线断裂,那么样品表面静电荷存在,使得表面负电势不断增加,出现充电效应,使图像畸变,入射电子束减速,此时样品如同一个电子平面镜。
 
  非导电样品绝缘电阻大,在电子束扫描下,样品表面逐渐积累负电荷,排斥入射电子,二次电子发射不稳定,并随机偏转二次电子,造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹,也就是所谓的“荷电效应”。
 台式扫描电镜
 样品未喷金ZEM15台式扫描电镜成像

台式扫描电镜

 样品喷金后ZEM15台式扫描电镜成像

  通常在样品表面镀一层导电膜可以提高样品的导电性,表面的负电荷通过导电膜释放入地,消除荷电。电荷释放的前提是膜层要与金属样品台相连接,形成导电通道,此外连续的导电膜也可以提高样品的导热性,减小热损伤。目前常用的镀膜技术为真空蒸发和离子溅射。
 
  常用的镀膜材料有C、Al、Cr、Au、Pt、Au-Pd合金。金膜二次电子产率高、覆盖性好、镀膜容易,是常用的材料,但颗粒较大,适用于中低范围的分辨率、两万倍以下的图像。Pt和Au-Pd合金膜的颗粒要细得多,适用于高分辨率图像。使用场发射电镜对膜层要求更高,至少要在20万倍下膜层不能显现结构,高真空镀Cr可以满足要求。C膜均匀性好,导电导热效率高,又是比较经济的材料,只是二次电子产率低,不适合高倍图像。

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