纳米压电旋转位移台

纳米压电旋转位移台RF-33A

产品介绍

泽攸科技位移台作为国产精密仪器的代表，依托压电陶瓷驱动技术实现了亚纳米级运动精度与宏观行程的突破性结合，解决了传统设备在分辨率和行程范围上的技术瓶颈。其核心设计采用高刚性柔性铰链导向系统，兼具结构紧凑、真空兼容、宽温区稳定运行等特性，可在低温至室温环境中保持优异性能。该产品系列通过模块化设计支持定制化需求，广泛应用于半导体检测、生物显微操作、光刻机工件台定位等领域。

产品描述

• 应用案例

△ 电子显微镜原位纳米探针台

△ 半导体芯片检测

△ 光刻机工件台

△ 微生物操纵手

△ 光纤焊接

△ 超精密组装

△ 精密检测与测量

△ 高精度激光对焦