光学显微镜和电子显微镜是清洁度分析领域常用的两种仪器，那么这两种分析方法的区别主要从两方面来看。 从使用条件来看：
光学显微镜的信号源是可见光的，可见光的波长较长，可以轻松绕过空气分子，因此可以在大气环境下运行。
扫描电镜的信号源是电子束，相对于可见光，电子束的波长短，所以分辨率高，图像清晰；不过，较短的波长，绕过空气分子的能力将会变差，因此扫描电镜sem内部会通过多级真空泵，将空气分子抽走，以维持一定的真空度。
从测试结果来看：
由于其价格低廉、操作简单在清洁度分析领域得到了广泛应用。在光学显微镜下，金属颗粒会有一定的反光，非金属颗粒不反光，因此可以根据颗粒是否反光，来大致区分金属和非金属，但是局限性是无法分析出具体是哪一种类的颗粒。
扫描电镜除了可以找到杂质颗粒外，还可以分析颗粒的种类。通过搭配能谱探测器，通过能谱信号，进一步给出颗粒的元素种类和含量信息，进而对照数据库，就能判断出颗粒的种类。
那么扫描电镜sem和清洁度分析对样品的要求都有哪些？
扫描电镜对制样的要求：粉末样品一定要粘牢，未粘牢的颗粒需要用洗耳球或压缩空气吹扫干净。因为固定不牢的颗粒在抽真空过程中会飘浮起来，会污染光路，严重者甚至可撞破能谱探测器的探头，对扫描电镜sem会造成一定的损坏。
清洁度分析对制样的要求：清洁度分析的样品为滤膜，滤膜样品不能吹扫。因为部分颗粒物靠重力落在滤膜上，吹扫会损失这部分颗粒，会造成结果的不准确的事情发生。
因此，扫描电镜的安全性和清洁度分析的准确性产生了矛盾，前者要吹扫，后者不能吹扫，那么该如何解决这一矛盾呢？
兼顾扫描电镜sem安全性和清洁度分析准确性的制样方法：滤膜颗粒固定法
为了解决上面的矛盾，我们分享一套简单有效的方法：滤膜颗粒固定法。将配置好的固定液，滴在锡箔纸上并涂匀，将滤膜平铺在固定液上。由于毛细现象，固定液会顺着滤膜微孔渗到滤膜上表面，将滤膜颗粒固定。
更新时间：2022-07-26 
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