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【半导体形貌及成分表征】ZEM18电镜在半导体领域的应用案例

更新时间:2024-04-01    浏览量:84
 ZEM18作为泽攸科技自主研发的高分辨台式扫描电子显微镜,在半导体领域有着广泛的应用。典型案例如下:

【晶圆缺陷检测】

利用ZEM18电镜直接成像观察晶圆表面,可以清晰展现出微小划痕、颗粒污染等各类缺陷情况。根据图像结果判断缺陷源头,以优化制程,提高生产良率。

【光刻工艺检测】

使用ZEM18电镜可以在微米量级直接刻画光刻胶层的侧壁形貌及断口形态。帮助评估光刻质量与曝光量效应,优化曝光量设置。

【金属互连观测】

ZEM18高倍成像可以清晰展现芯片互连结构中的空隙缺陷、线边断裂情况,有助于电参数测试结果的对应分析,确定良率故障原因。

【电子器件表面检测】

采用ZEM18对封装好的IC芯片进行表面扫描,可以显示器件表面橡胶密封层与引线的外观质量,并对故障类型进行分类。

ZEM18高分辨扫描电镜凭借出色的成像能力,使半导体制程中的微区结构与缺陷检测变得更加轻松,可靠地保证产品质量。

焊点检测


晶圆杂质


器件


微纳加工检测


氧化硅


LCD 增量膜

安徽泽攸科技有限公司是一家具有完全自主知识产权的科学仪器公司, 自20世纪90年代开始投入电镜及相关附件研发以来,研发团队一直致力于为纳米科学研究提供优秀的仪器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM测量系统原位SEM测量系统ZEM系列台式扫描电镜JS系列台阶仪纳米位移台二维材料转移台探针台及低温系统光栅尺等在内的多个产品线,在国内外均获得了高度关注。

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