扫描电镜带能谱如何控制电子路径及操作方法

更新时间：2022-05-13

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扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析EDS功能，EDS（能谱仪）可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。台式电镜能谱仪体积小巧，*嵌入在电镜主机中，采用半导体制冷，无需额外冷却系统。

扫描电镜带能谱如何控制电子路径：

与光学显微镜类似，扫描电镜也通过透镜来控制电子路径。但因为电子无法穿过玻璃，所以扫描电镜必须使用电磁透镜。它们由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈，就会产生磁场。由于电子对磁场非常敏感，因此只需调节所施加的电流大小就可以控制镜筒内的电子路径。

通常，电磁透镜有聚光镜及物镜两种：聚光镜是电子向样品移动时遇到的第一个透镜。该透镜在电子束锥再次打开前使电子束会聚，并在撞击扫描样品之前由物镜再次会聚。聚光镜决定了电子束的大小(这决定了分辨率高低)，而物镜的主要作用是将电子束聚焦到样品上。它的透镜系统还包含扫描线圈，用来对样品表面进行栅网式扫描。很多时候，会将光阑与透镜相结合来控制电子束的大小。

扫描电镜带能谱的基本操作：

首先在扫描电镜窗口下找到感兴趣的样品区域，其次在能谱软件窗口对样品区域进行点、线或面扫描，即可获取样品指定区域的元素种类、分布及含量百分比。

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