能谱扫描电镜

泽攸科技台式扫描电镜能谱一体机

产品介绍

泽攸科技能谱扫描电镜——集成Oxford能谱仪的高分辨率SEM-EDS一体机。创免液氮冷却技术，元素分析范围B5-Cf98，129eV能量分辨率精准检测。适用于金属材料、半导体失效分析等

• 能谱仪参数

▲ 集成OxfordXploreCompact30能谱分析系统SuperATW窗口30mm2面积活区

▲  分辨率优于129eV（MnKα处）无需液氮冷却

▲  分析元素范围：B5-Cf98

▲  点、线、面扫描分析

▲  全中文软件操作界面（中英文切换功能）

•  电镜主机特色

▲ 真空分隔技术：采用真空设计，电子枪和样品仓真空分离，换样时间小于1min。

▲  超大样品仓：提供了更大的样品存储空间，方便用户操作。

▲  超高分辨率：极限放大倍数达到36万倍，分辨率4nm@20kV。

▲  选配减速模式：允许弱导电样品在不喷金的情况下进行观察。

▲  仓内摄像头：样品仓内置高清摄像头，原位实验时可实时监测样品原位变化。