SEM纳米力测量系统

SEM纳米力测量系统

产品介绍

产品特色

▲ 易用性强

▲ 兼容扩展性强

▲ 加热，光学等多种模块可选

▲ 闭环高精度、大量程力学测量

▲ 闭环纳米尺度微动台控制，位移更加精确

▲ 压痕、划痕、压缩等多种模式可选

▲ 超高稳定性，轻松获得高质量原位视频

技术参数

功能：压痕，压缩，拉伸

载荷量程：100mN

力传感分辨率：10uN

响应时间：50ms

微调台X/Y；模式：闭环控制  行程：100(±20)um  精度：20nm

粗调台X/Y/Z；模式：开环控制  行程：XY轴±10mm、Z轴行程10mm  最小步长：≤1nm

标准纳米力台尺寸：130*65*55mm

裸台重量：约300g(压痕)

样品尺寸：≤30*30mm

选配模块：加热(最高400℃)、加电

应用案例

纳米力台微球压碎过程