长行程压电纳米位移台

长行程压电纳米位移台ML-92A，具有分辨率高，行程大，带有高精度及高分辨率的位置反馈，操作简单，定位精准，能在真空下使用等优点,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。

该产品使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。能够步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。支持开环/闭环控制。

• 长行程压电纳米位移台ML-92A应用案例

△ 电子显微镜原位纳米探针台

△ 半导体芯片检测

△ 光刻机工件台

△ 微生物操纵手

△ 光纤焊接

△ 超精密组装

△ 精密检测与测量

△ 高精度激光对焦