产品详情
气氛指标 | 加热指标 |
1.气柜:三通道混气; | 1.温度范围:室温至800℃; |
2.气压范围:0-1Bar; | 2.温度准确度:优于5%; |
3.气压准确度:30mBar; | 3.温度稳定性:优于±0.1℃; |
4.气体流速:0.01-0.4mL/min; | 4.四电极加热,带温度反馈; |
5.可通气体:H2,N2,O2,He,Ar,CO,CO2,CxHy等。 | 5.软件控制; |
6.软件控制 | 6.可搭配第三方源表、质谱分析附件 |
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