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产品详情
ZEM30 Pro多功能扫描电镜
LaB6 晶体高亮度灯丝
通用型扫描电镜的高分辨之选
2.5nm 分辨率 | 25x～360000x 放大倍数
更亮，更清晰
更强大的扩展性
ZEM30 Pro 是一款高性能通用型扫描电镜。它突破性地采用了 LaB6（六硼化镧）灯丝，相比传统钨灯丝提供了更高亮度的电子束源，从而显著提升了图像质量，将分辨率推进至 2.5nm @ 30kV。
不仅仅是观察。ZEM30 Pro 采用模块化的镜筒设计，气动结构确保了光路持续保持高真空状态。配合 5轴高精度样品台 和丰富接口，它能轻松适配拉伸、加热、冷冻、电学测量等多种原位台，成为微纳材料研究的平台。
ZEM30 Pro多功能扫描电镜：
LaB6
高亮度灯丝
提供更优异的信噪比与寿命。
2.5nm
优异分辨率
@30kV 加速电压下实现。
5轴
样品台
X/Y/Z/R/T 全位移动。
技术规格详情
| 性能对比 (ZEM30 vs ZEM30 Pro) | ||
|---|---|---|
| 参数 | ZEM30 (标准版) | ZEM30 Pro (专业版) |
| 灯丝类型 | 钨灯丝 | LaB6 灯丝 |
| 分辨率 | 3nm @ 30kV | 2.5nm @ 30kV |
| 加速电压 | 3kV - 30kV | |
| 放大倍数 | 25x ~ 360,000x | |
| 硬件与样品台配置 | |
|---|---|
| 五轴样品台 | X: 130mm, Y: 120mm, Z: 65mm R: 360° (旋转), T: -20° 至 90° (倾斜) |
| 探测器 | 标配：二次电子探测器 (SE)、背散射电子探测器 (BSE) 选配：能谱仪 (EDS) |
| 导航系统 | 光学导航、区域快捷导航、摇杆控制（选配） |
| 重复精度 | 优于 5µm |
| 智能化软件系统 | |
|---|---|
| 操作系统 | Windows 操作系统，全中文 SEM 软件界面 |
| 自动化功能 | 自动亮度对比度、自动找光、自动聚焦 |
| 高级分析 | 大视野拼图、颗粒度分析、灰度 3D 重构 |
| 导航模式 | 光学导航、区域快捷导航、支持摇杆控制 (选配) |
微纳原位解决方案
得益于优秀的仓室设计，ZEM30 Pro 可无缝集成多种泽攸科技自研原位台。
力学测试： 纳米力学台、原位拉伸台
电学测量： 纳米探针台、热电芯片台
特殊应用： 液体/固体电化学台、MEMS 原位台
冷冻传输： SEM 冷冻真空传输系统 (适合生物样品)
真空保护： 真空转移盒 (保护敏感样品)
应用案例
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