产品型号：ZML10A
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产品介绍| 品牌 | ZEPTOOLS/泽攸科技 |
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其独特的光路结构和高精度直线电机位移台确保了曝光精度和重复定位能力，同时配备CCD相机逐场自动对焦系统，进一步优化了成像质量和工艺稳定性。设备支持电动物镜切换和激光主动对焦功能，能够灵活应对不同应用场景的需求。其紧凑的桌面小型化设计不仅节省空间，还便于在实验室或生产环境中部署。此外，配备了直观易用的软件界面，大幅降低了操作门槛，即使是初学者也能快速上手。无论是超材料结构、电极图案还是微流控芯片等复杂微纳结构的制备，都能提供可靠的支持，是科研工作者和工业用户的理想选择。
▲ 桌面小型化
▲ 高功率、高均匀度LED刻写光源
▲ 绿光引导曝光，所见即所得
▲ CCD相机逐场图像自动对焦
▲ 高精度直线电机位移台
▲ 用户友好，易于操作的软件界面
• 光路原理结构图
• 应用案例
▲ 微流控芯片
▲ DMD紫外光刻实现套刻功能
▲ 碲纳米网格刻蚀后套刻电极
▲ 灰度光刻菲涅尔透镜【3D灰度光刻实现菲涅尔透镜，从扫面电镜的截面图中可以看出台阶连续变化】
▲ 二维材料电极【蒸镀并剥离后的二维材料电极，蒸镀电极为Ti/Au/Ti(总共12nm)】
▲ DMD紫外光与电子束联合光刻【使用的机型为ZML10A 和 ZEL304G】
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