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产品详情
泽攸科技PicoFemto原位探针样品杆系列，涵盖单倾、双倾、光电、力电、低温、真空传输等多种类型，可全面适配主流透射电镜，满足不同科研场景的多样化需求。该系列样品杆以一体化集成设计为核心，将探针操控与多场原位测试功能深度融合，无需复杂调试即可实现精准的样品定位与操控，搭配便捷的软件控制系统，大幅降低操作门槛，兼顾专业性与易用性。
产品核心优势突出，具备灵活的适配能力，可无缝对接各类主流电镜设备，无需额外改造即可投入使用；集成多种原位测试功能，能够实现多场耦合环境下的样品表征与性能测量，打破传统离线测试的局限，助力科研人员捕捉材料动态演化过程与瞬态特性。同时，整套设备配置齐全、部署便捷，配套完善的辅助工具与数据处理功能，可高效支撑前沿科研工作，简化实验流程、提升研究效率，是材料、半导体、新能源等领域开展原位研究、攻克科研难题的核心辅助设备。
泽攸科技PicoFemto原位探针样品杆系列：
单倾 / 双倾探针杆
适配主流透射电镜，可实现精准探针操纵与高灵敏电学测量，双倾机型支持多角度观测，满足不同原位电学表征需求
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
单倾探针杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、工具附件等 |
粗调范围 | XY方向2.5mm，Z方向1.5mm | ||
细调范围 | XY方向15um，Z方向1.5um | ||
细调分辨率 | XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | ||
控制方式 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
电学测量指标 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
数据处理 | 电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
双倾探针杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、（PC+软件）、双倾控制器、针尖腐蚀仪、工具附件等 |
倾转角度 | ±25°（取决于电镜极靴型号） | ||
粗调范围 | XY方向2.5mm，Z方向1.5mm | ||
细调范围 | XY方向15um，Z方向1.5um | ||
细调分辨率 | XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | ||
控制方式 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
电学测量指标 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
数据处理 | 电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
单倾力电探针杆（AFM）
可同步完成纳米力学定量测量与高灵敏电学表征，为材料力电耦合性能研究提供精准可靠的原位实验平台
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
单倾力电探针杆 （AFM） | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、工具附件等 |
细调范围 | XY方向15um，Z方向1.5um | ||
细调分辨率 | XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | ||
控制方式 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
电学测量指标 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
数据处理 | 电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
力学测量指标 | 最大载荷100 uN | ||
力传感器选配：5uN、10uN、50uN、100uN | |||
载荷分辨率≤0.2%F.S. | |||
数据处理 | 自动测量力-距离曲线，曲线可保存 | ||
单倾 / 双倾力热电探针杆（非定量力）
集成力、热、电多场加载，支持高温下原位拉伸、压缩与电学测试，双倾机型可实现更全面的微观结构观测
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
单倾力热电探针杆 （非定量力） | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、MST芯片、PTP芯片、工具附件等 |
细调范围 | XY方向15um，Z方向1.5um | ||
细调分辨率 | XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | ||
控制方式 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
电学测量指标 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
数据处理 | 电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
MST指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.2℃ | |||
用于原位压缩、加电测试 | |||
PTP指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.2℃ | |||
用于原位拉伸测试 | |||
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
双倾力热电探针杆 （非定量力） | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、MST芯片、PTP芯片、工具附件等 |
倾转角度 | ±20°（取决于电镜极靴型号） | ||
细调范围 | XY方向15um，Z方向1.5um | ||
细调分辨率 | XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | ||
控制方式 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
电学测量指标 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
数据处理 | 电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
MST指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.2℃ | |||
用于原位压缩、加电测试 | |||
PTP指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.2℃ | |||
用于原位拉伸测试 | |||
单倾力 + 热 + 光 + 电探针杆（非定量力、多场）
集力、热、光、电多功能于一体，可在透射电镜下实现多场耦合环境下的原位动态表征，满足复杂前沿科研需
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
单倾力+热+光+电探针杆 （非定量力、多场） | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、MST芯片、PTP芯片、工具附件等 |
细调范围 | XY方向15um，Z方向1.5um | ||
细调分辨率 | XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | ||
控制方式 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
光纤参数 | 多模光纤、芯径可选 | ||
光纤接口 | FCPC光纤接口 | ||
电学测量指标 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | |||
MST指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.2℃ | |||
用于原位压缩、加电测试 | |||
PTP指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.2℃ | |||
用于原位拉伸测试 | |||
低温探针杆
支持极低温环境下的原位探针操控与电学测量，为低温物理、低维材料等研究提供稳定可靠的实验条件
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
低温探针杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、温控仪、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、杜瓦烘烤预抽系统、工具附件等 |
低温度 | ≤-160℃ | ||
分辨率 | 优于0.3nm | ||
低温保温时长 | 4h | ||
粗调范围 | XY方向2.5mm，Z方向1.5mm | ||
XY方向15um，Z方向1.5um | |||
XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | |||
细调范围 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
细调分辨率 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
控制方式 | 电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
原位定量力热样品杆
可在高温下实现高精度定量力学加载与力热耦合测试，适用于严苛工况下的材料力学与热学性能研究
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
定量力热样品杆 | 最大纵向载荷 | 1.5mN | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、温控仪、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、杜瓦烘烤预抽系统、工具附件等 |
纵向力载荷噪音背景 | 500nN | ||
最大压痕深度 | 2um | ||
位移噪音背景 | 1.4nm | ||
最大数据采集速率 | 100Hz | ||
精细调节样品定位范围 XYZ | X方向12um，Y方向15um,Z反向2um | ||
精细调节样品定位分辨率 | X方向0.4nm，Y方向0.4nm，Z方向0.1nm | ||
粗调节样品定位范围 XYZ | 750um/750um/1500um | ||
力热耦合下最高加热温度 | 800℃ | ||
加热功能下最高加热温度 | 1200℃ | ||
倾转方式 | 单倾/双倾 | ||
单倾 / 双倾真空传输探针杆
可实现样品在手套箱与电镜间的真空密封转移，有效保护空气敏感样品，保证原位实验结果真实可靠
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
真空传输探针杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、探针控制器、（PC+软件）、针尖腐蚀仪、工具附件等 |
粗调范围 | XY方向2.5mm，Z方向1.5mm | ||
细调范围 | XY方向15um，Z方向1.5um | ||
细调分辨率 | XY方向0.4nm，Z方向0.04nm | ||
控制方式 | 粗细调均采用压电陶瓷驱动，软件控制 | ||
电学测量指标 | 电流测量范围：2.5nA-30mA，多个量程； | ||
电流分辨率：100fA | |||
电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V | |||
数据处理 | 电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
真空传输功能 | 手套箱与透射电子显微镜间实现密封转移 | ||
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