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泽攸科技原位MEMS芯片样品杆系列，品类丰富、适配性广泛，可兼容主流电镜设备，涵盖加热、液体、气体等多种功能类型，能满足不同科研与实验场景的多样化需求。系列产品集成优良技术，兼具操作便捷性与运行稳定性，可实现样品的精准表征、原位测试与动态监测，配套齐全且适配灵活，能为科研人员提供高效、可靠的实验支撑，助力各类微观实验与研究工作顺利开展，凭借较好的性能与全面的功能，成为科研领域的优质适配装备。
泽攸科技原位MEMS芯片样品杆系列：
采用 MEMS 加热芯片，可实现高精度高温加热与四电极电学测试，单倾 / 双倾结构可选，是高温原位热学、电学表征的稳定平台
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
单倾四电极芯片杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、温控仪（或源表）、PC+软件、加热芯片、工具附件等 |
加热指标 | 最高1200℃ | ||
控温精度±0.1℃ | |||
分辨率 | 优于0.1nm（受限于电镜分辨率） | ||
漂移量 | 优于1nm/min，受限于电镜稳定性 | ||
选配电学芯片 | 4电极电学芯片 | ||
电学测量指标 | 包含一个电流电压测试单元； | ||
电压输出最大量程±200 V，最小量程±200 mV； | |||
电流测量最大量程±1.5 A，最小量程100 nA； | |||
恒压或者恒流模式； | |||
数据处理 | 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
双倾四电极芯片杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、温控仪（或源表）、PC+软件、加热芯片、双倾控制器、工具附件等 |
倾转角度 | ±20°（取决于电镜极靴型号） | ||
加热指标 | 最高1200℃ | ||
控温精度±0.1℃ | |||
分辨率 | 优于0.1nm（受限于电镜分辨率） | ||
漂移量 | 优于1nm/min，受限于电镜稳定性 | ||
选配电学芯片 | 4电极电学芯片 | ||
电学测量指标 | 包含一个电流电压测试单元； | ||
电压输出最大量程±200 V，最小量程±200 mV； | |||
电流测量最大量程±1.5 A，最小量程100 nA； | |||
恒压或者恒流模式； | |||
数据处理 | 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存 | ||
集成多电极 MEMS 芯片，可同步实现多通道电学测量与精准控温，单倾 / 双倾结构可选，满足多电极材料与器件原位研究需求
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
单倾加热芯片杆(6/8电极热电芯片) | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、温控仪（或源表）、PC+软件、加热芯片、工具附件等 |
加热指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.1℃ | |||
分辨率 | 优于0.1nm（受限于电镜分辨率） | ||
漂移量 | 优于1nm/min | ||
电学测量指标 | 包含一个电流电压测试单元； | ||
电压输出最大量程±200 V，最小量程±200 mV； | |||
电流测量最大量程±1.5 A，最小量程100 nA； | |||
恒压或者恒流模式； | |||
数据处理 | 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量， 自动保存 | ||
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
双倾加热芯片杆(6/8电极热电芯片) | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、温控仪（或源表）、PC+软件、加热芯片、工具附件等 |
倾转角度 | ±20°（取决于电镜极靴型号） | ||
加热指标 | 最高800℃ | ||
控温精度±0.1℃ | |||
分辨率 | 优于0.1nm（受限于电镜分辨率） | ||
漂移量 | 优于1nm/min | ||
电学测量指标 | 包含一个电流电压测试单元； | ||
电压输出最大量程±200 V，最小量程±200 mV； | |||
电流测量最大量程±1.5 A，最小量程100 nA； | |||
恒压或者恒流模式； | |||
数据处理 | 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量， 自动保存 | ||
采用密封式 MEMS 液体芯片，可在电镜中原位开展液相环境下的电化学实验，实现液体中样品结构演变的实时高分辨观察
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
封闭液体杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、真空检漏仪、电化学工作站/源表、液体芯片、工具附件等 |
液体芯片 | 窗口厚度30nm | ||
三电极电化学芯片 | |||
芯片可承载1个大气压 | |||
窗口膜厚以及间隔层厚度可选 | |||
液体池厚度 | 100~500nm | ||
液体密封方式 | MEMS芯片适配密封圈密封 | ||
电化学测试 | 兼容电化学工作站或者源表 | ||
检漏模块 | 光学显微镜高倍率检查、光学镜筒、CCD 、显示器 | ||
集成液相密封与光纤通光功能，可在液体环境下同步实现光激发、电化学测试与透射电镜原位成像，适用于光催化、光电化学研究
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
封闭通光液体杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、样品杆底座、手提箱、真空检漏仪、电化学工作站/源表、液体芯片、工具附件等 |
液体芯片 | 窗口厚度30nm | ||
三电极电化学芯片 | |||
芯片可承载1个大气压 | |||
窗口膜厚以及间隔层厚度可选 | |||
液体池厚度 | 100~500nm | ||
液体密封方式 | MEMS芯片适配密封圈密封 | ||
光纤参数 | 多模光纤、芯径可选 | ||
光纤接口 | FCPC光纤接口 | ||
电化学测试 | 兼容电化学工作站或者源表 | ||
检漏模块 | 光学显微镜高倍率检查、光学镜筒、CCD 、显示器 | ||
支持液体连续流动与精准控压，可模拟真实液相反应环境，实时观测电化学反应、腐蚀、晶体生长等动态过程
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
流动液体杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 样品杆、控压/注射泵、样品杆底座、手提箱、真空检漏仪、电化学工作站/源表、液体芯片、工具附件等 |
液体芯片 | 窗口厚度30nm | ||
三电极电化学芯片 | |||
芯片可承载1个大气压 | |||
间隔层厚度100nm | |||
液体密封方式 | 窗口大小、膜厚以及间隔层高度可定制 | ||
液体流速 | MEMS芯片适配密封圈密封 | ||
控压模块（选配） | 0.3~30uL/min | ||
电化学测试 | 200~1000mbar | ||
检漏模块 | 兼容电化学工作站或者源表 | ||
兼容性 | 光学显微镜高倍率检查、光学镜筒、CCD 、显示器 | ||
支持多路气体混合与精准控温通气，可在可控气氛环境下开展催化、氧化、还原等原位反应研究，还原真实工况下的材料行为
名称 | 主要参数 | 主要配置 | |
气体杆 | 兼容性 | Thermo Fisher、JEOL、 Hitachi等 | 气体杆、样品杆底座、手提箱、温度控制器/原表、气体控制柜、PC+软件、加热芯片、工具附件等 |
气体芯片参数 | 窗口厚度30nm | ||
最高加热温度800℃ | |||
温度稳定性优于±0.1 ℃ | |||
分辨率 | 0.3nm | ||
漂移量 | ≤1.5nm/min | ||
混气数量 | 三路混气 | ||
流速范围 | 1sccm×3（N2） | ||
气体流速 | ≥0.1sccm | ||
控压范围 | 100mbar~1000mbar | ||
可通气体 | H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等 | ||
捡漏模块 | 光学显微镜高倍率检查、光学镜筒、CCD 、显示器 | ||
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